C05300 - SEMI C53 - Specifications for Dimethyl Sulfoxide (DMSO) [Grades 1 and 2] StdDcs-Current orgで入手可能となる。初版は2006年7月出版。

orgで入手可能となる。初版は2006年7月出版。

OC（オリエンテーションコーナ）により識別していた情報に加え，基板ごとのID等の情報を加えることができる。

and valves)

Due to the migration to large substrate sizes in FPD production

注意：　本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

C05300 - SEMI C53 - Specifications for Dimethyl Sulfoxide (DMSO) [Grades 1 and 2] StdDcs-Current orgで入手可能となる。初版は2006年7月出版。NOTICE: This Document was reapproved with minor editorial changes. The purpose of this Document is to standardize requirements for dimethyl sulfoxide used in the semiconductor industry and testing procedures to support those standards. Test methods have been shown to give statistically valid results. Referenced SEMI Standards SEMI C1 Guide for the Analysis of Liquid Chemicals