E15900 - SEMI E159 - ウェーハの搬送及び，輸送のための多目的キャリア(MAC：Multi Application Carrier)の機械仕様 StdTpc-Stainless Steel Components 5 This Safety Guideline provides

5  This Safety Guideline provides industry-specific criteria

orgで入手可能となる。初版は2006年3月発行。

125インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用マスフローコントローラ／マスフローメータの特性（仕様）と機械的な寸法を規定する。

and equipment design and process improvements

FPD用ガラス基板の触針式表面粗さ測定器による表面粗さの測定方法について規定する。

E15900 - SEMI E159 - ウェーハの搬送及び，輸送のための多目的キャリア(MAC：Multi Application Carrier)の機械仕様 StdTpc-Stainless Steel Components 5 This Safety Guideline providesSEMI SEMI Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee20131223global Audits and Reviews Subcommittee20116www. semiviews. org www. semi. org2011620129 SEMI M74450 mm 450 MACMACFOUPFOUPMAC 450mm 450mm 450 mmKCP 3 Referenced SEMI Standards SEMI E1. 9 Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers SEMI E30. 1 Inspection and Review Specific Equipment Model (ISEM) SEMI E144 Provisional Specification for RF Air