C00339 - SEMI C3.39 - 三フッ化窒素（NF3）99.98%品質の仕様 Revision:SEMI C3.39-1011 - Superseded An EPT state model that

An EPT state model that defines triggers for state changes

The purpose of this Document is to provide a standardized method to quantify the reproducibility and zero drift of a thermal mass flow controller (MFC)

本ドキュメントの意図は，特殊なテストプログラムを提案することでなく，ここに含まれているパラメータをテストをする時に使用するテスト方法を定めることにある。ユーザは，厳しくコントロールされたテスト条件に基づいて精度や精密度，バイアス（歪み），直線性，短期再現性およびデッドバンドを調べるためにこのドキュメントを利用することができる。

SEMI F62-0701 (Reapproved 0307)

2-0308 — 直径76

C00339 - SEMI C3.39 - 三フッ化窒素（NF3）99.98%品質の仕様 Revision:SEMI C3.39-1011 - Superseded An EPT state model thatglobal Gases Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org198920043 (NF3) Referenced SEMI Standards None.