M08100 - SEMI M81 - 単結晶シリコンカーバイド基板に存在する欠陥についてのガイド Revision:SEMI M81-0611 - Superseded 備註：當條文中含有「應」的字眼，表示必須與此文件要求一致。若含有「可」、「建議」、「優先」、「傾向」，或利用註與相關文件說明者，則不須完全依說明執行。

備註：當條文中含有「應」的字眼，表示必須與此文件要求一致。若含有「可」、「建議」、「優先」、「傾向」，或利用註與相關文件說明者，則不須完全依說明執行。

SEMI F85-0304 (first published)

2006年做完全的修改。

Materials kinds or cleanliness are not defined

本仕様はフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の供給者および，あるいは購入者により利用され，使用されるすべてのガラス基板に有効である。

M08100 - SEMI M81 - 単結晶シリコンカーバイド基板に存在する欠陥についてのガイド Revision:SEMI M81-0611 - Superseded 備註：當條文中含有「應」的字眼，表示必須與此文件要求一致。若含有「可」、「建議」、「優先」、「傾向」，或利用註與相關文件說明者，則不須完全依說明執行。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Compound Semiconductor Materials Global Technical Committee2011513global Audits and Reviews Subcommittee20116www. semiviews. org www. semi. org SEMI M55 SiCSiC SiC Referenced SEMI Standards SEMI M55 Specification for Polished