C00336 - SEMI C3.36 - Standard for Hydrogen Chloride (HCl), 99.994% Quality (Provisional) StdPbc-1123 本文書の目的は，半導体産業で使用されるジメチルスルホキシドに対する要求事項を標準化し，また，要求事項に対して立証するためのテスト手順を標準化することである。このテスト方法は統計的に有効な結果を表すことが明らかとなっている。

本文書の目的は，半導体産業で使用されるジメチルスルホキシドに対する要求事項を標準化し，また，要求事項に対して立証するためのテスト手順を標準化することである。このテスト方法は統計的に有効な結果を表すことが明らかとなっている。

test methods have not been published or have not yet been statistically validated

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C00336 - SEMI C3.36 - Standard for Hydrogen Chloride (HCl), 99.994% Quality (Provisional) StdPbc-1123 本文書の目的は，半導体産業で使用されるジメチルスルホキシドに対する要求事項を標準化し，また，要求事項に対して立証するためのテスト手順を標準化することである。このテスト方法は統計的に有効な結果を表すことが明らかとなっている。This Standard was technically approved by the Gases Global Technical Committee. Available at www. semi. org in July 2001; originally published in 1989; previously published in 1994. NOTICE: This Document was balloted and approved for withdrawal in 2001. Hydrogen chloride is a colorless, pungent, corrosive gas having a suffocating odor. Hydrogen chloride is heavier than air and fumes strongly in moist air. It is very soluble in water and alcohol, and